全晶圓代工龍頭台積電創辦人張忠謀去年宣布退休,不過張忠謀才退休半年多,台積電就連環爆出問題,繼前陣子的病毒事件,再爆出南科的12吋晶圓廠Fab14B廠,採用不合格化學原料,上萬片晶圓因此報廢。對此,法人點名日商信越、JSR 以及陶氏化學等3家供應廠商,其中更以陶氏化學嫌疑最大。
台積電昨被爆出問題的12吋晶圓廠Fab14B廠,主要以12、16奈米製程為主,主要客戶為NVIDIA、聯發科、華為海思等,此次問題點是,台積電採用了供應商提充的光阻液不合格,導致晶圓良率下降,上萬片晶圓報廢。
台積電原先表示,報廢晶圓數超過1萬片,不過經過初步估計後,該案並不會影響第1季的財測;不過後來卻改口,受影響的晶圓大部分能在第1季補回,若無法補回,也能在第2季補回。
負壓排風扇通風
負壓排風扇向外排出工業水冷扇空氣使室內氣壓下降,室內空氣變稀薄,形成一個負壓區,空氣由於氣壓差補償流入室內。在工廠降溫實際應用中,負壓排風扇集中安裝於通風設備廠房一側,進氣口位於廠房另外一側,空氣由進氣口到負壓排風扇形成對流吹風。在這個過程中,靠近負壓排風扇附近的門窗保持關閉,強迫空氣由進氣口一側門窗補償流入車間。通風設備空氣排著隊、有秩序的由進氣口流入車間,從車間流過,由負壓排風扇排出車間。換氣徹底、高效,換氣率廠房通風可高達99%。通過具體的工程設計、根據需要設計換氣速度和風速,任何高熱、有害氣大型排風扇體、粉塵煙霧均能迅速排出車間,任何通風不良問題均能一次性徹底解決。從開啟風機的幾秒鐘內即可達到通風的效果。
負壓排風扇的降溫原理主要有以下幾點:
一、換氣降溫:由於陽光照射建築物、機器設備、人體等熱源工業風扇導致需要通風的場所氣溫高於車間外。負壓排風扇能將車間內熱氣迅速排出讓車間內溫度和外界溫度持平,不至於車間內溫度升高。
通風設備二、空氣流動帶走人體熱量,空氣流動加速汗液蒸發而吸收人體 熱量,從而讓人體感覺涼爽,和自然風一樣涼爽。
三、和水簾配合使用,在夏季最炎熱的時候可將車間內溫度控制在28攝氏度以內。但人體的涼爽感覺可與空調相比。
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而此次事件,業界人士質疑,不合格的化學原料怎麼會驗收,難道是台積電推卸給供應商?而此次的光阻液供應商有三家,包含日商信越、JSR 與陶氏化學,事件影響晶圓片數高達9萬片,業界人士直指就是陶氏化學出包,台積電最快也會在本周進行測試,目前仍待調查中,至於真正受影響的晶圓數量,則是要等到台積電自行向外界說明。
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